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Improved Memory Characteristics by NH3 Post Annealing for ZrO2 Based Charge Trapping Nonvolatile Memory
소개글 Author: Zhao Dongqiu, Li Rong, Zhu Xinhua Organization: Zhao Dongqiu; Li Rong; Zhu Xinhua Publish: Transactions on Electrical and Electronic Materials Volume 15, Issue1, p16~19, 25 Feb 2014
태그
  • Charge trapping
  • NH3 annealing
  • Memory capacitors

저작시기 2014-02월

등록일 2016-07-17

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