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Effect of Annealing Time on Electrical Performance of SiZnSnO Thin Film Transistor Fabricated by RF Magnetron Sputtering
소개글 Author: Ko Kyung Min, Lee Sang Yeol Publish: Transactions on Electrical and Electronic Materials Volume 16, Issue2, p99~102, 25 Apr 2015
태그
  • RF magnetron sputtering
  • Roughness
  • Contact resistance
  • Prolong annealing treatment
  • Amorphous structure

저작시기 2015-04월

등록일 2016-07-20

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