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RF 파워 변화에 따른 ITZO (In-Sn-Zn-O) 박막의 전기적, 광학적, 구조적 특성
소개글 Publish: Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering Volume 18, Issue2, p394~400, 28 Feb 2014
태그
  • ITZO 박막
  • 고주파 마그네트론 스퍼터링
  • 투과도
  • 비저항
  • 재료평가지수

저작시기 2014-02월

등록일 2016-08-09

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페이지 7페이지

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