초고집적용 새로운 회자 구조의 얕은 트랜치 격리의 특성 분석

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초고집적용 새로운 회자 구조의 얕은 트랜치 격리의 특성 분석

소개글 ##Publish: Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering Volume 18, Issue10, p2509~2515, 31 Oct 2014

태그

회자구조
얕은 트랜치 격리
임계전압
활성영역
TCAD

저작시기 2014-10월

등록일 2016-08-10

파일형식 pdf

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