CVD를 이용한 박막 증착

소개글 1. 실험목적 (1) CVD의 원리와 종류에 대하여 공부한다. (2) CVD에서 경계층 분리가 중요한 이유에 대하여 생각해본다. 실험상에서 기판을 기울이는 이유를 유체역학적으로 설명할 수 있게 한다. (3) 반도체 제조공정에서 사용되는 박막증착 CVD 방법의 세 가지 단계(메커니즘)를 알아보자. (4) 의 사용되는 곳을 조사해보자.