반도체 공정기술을 응용한 마이크로패턴 고분자 구조체 제작

소개글 ① 반도체 공정기술 중에 사용되는 실험기기와 실험방법 등을 익혀 반도체 공정 과정을 이해한다. ② 반도체 공정기술인 광식각공정 (photolithography) 전반에 대해 체험하고 이를 통해 원하는 미세패턴을 제작할 수 있다. ③ 연성식각기술 (softlithography)를 통해 미세패턴 구조체를 복제할 수 있다.